名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成15年 中小企業庁技術開発補助事業または技術指導施設費補助事業のアイコン

装置名 分析機能付走査電子顕微鏡
設備の概要
(目的、用途)
走査電子顕微鏡(SEM)では、二次電子像と反射電子像が得られ、試料表面の状態や組成の違いなどの観察を行います。エネルギー分散型X線分析装置(EDX)では、特性X線を検出し、定性・定量分析や多元素同時マッピング(面分析)、ライン分析の測定ができます。
メーカー 島津製作所
型式 SSX-550
設備仕様

加速電圧:0.5〜30kV
SE像分解能:高真空 3.5nm、低真空(1〜270Pa) 4.5nm
倍率:20〜300,000倍
エネルギー分解能:138eV (分析可能元素 B(硼素)~U(ウラン))
画像保存形式:JPEG,TIFF,BMP,ASCII

設置場所 研究棟 2F 顕微鏡室(R212)
問合せ先 材料技術部 金属・表面技術研究室
岡東寿明(052-654-9853)
その他 この設備は、中小企業庁の平成15年度中小企業技術開発産学官連携推進事業 によって導入されました。(H16.1.22設置)
写真
分析機能付走査電子顕微鏡

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