名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成20年 (財)JKA設備拡充補助対象事業のアイコン

装置名 X線分析機能付高分解能走査電子顕微鏡
設備の概要
(目的、用途)
本装置は製品の表面形態を高分解能で観察する装置です。2次電子像、反射電子像が撮影でき、イオンミリング装置で調整すれば結晶組織の観察が可能です。微小部の元素分析が可能です。異物分析、不良原因調査、破損解析などに利用できます。
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 S-4800
設備仕様

観察倍率 :×20〜800,000
加速電圧 :0.5〜30kV
照射電圧 :0.1〜2.0kV(リターディングモード)
二次電子分解能 :1.0nm(加速電圧15kV、WD4mm)、1.4nm(加速電圧1kV、WD4mm)
検出元素 :B〜U
検出器 :液体窒素レス半導体検出器

設置場所 研究棟 2F 電子顕微鏡室(R214)
問合せ先 材料技術部 金属・表面技術研究室
加藤雅章(052-654-9914)
その他 この設備は、財団法人JKAの平成20年度公設工業試験研究所の設備拡充補助事業によって導入されました。(H20.10.06設置)
写真
X線分析機能付高分解能走査電子顕微鏡

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