名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成23年

装置名 分析機能付卓上型電子顕微鏡
設備の概要
(目的、用途)
材料や製品表面の形態観察および元素分析ができます。低真空のため、絶縁物試料を無蒸着で観察できます。
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 Miniscope TM-1000
設備仕様

加速電圧: 15 kV
倍率: ×20 〜×10,000
分解能: 約30 nm
EDXによる元素分析: Na〜Uまで検出可能

設置場所 電子技術総合センター 3F 先端技術開放試験室(E301)
問合せ先 材料技術部 環境技術研究室
林朋子(052-654-9869)
その他
写真
分析機能付卓上型電子顕微鏡

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