名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成26年

装置名 光学特性評価システム - 形状測定装置
設備の概要
(目的、用途)
本装置は、ガラス基板、金属、フィルムなどの形状を測定する装置です。非接触のレーザーによる形状測定ができます。数μm〜数mm程度の凹凸を持つ試料の表面形状測定に適しています。
測定した形状の3D表示、短波長レーザによる高解像度観察、表面粗さの測定などが可能です。
メーカー (株)キーエンス
型式 VK-X210/200
設備仕様

レーザ光源波長:408nm
総合倍率:200〜24,000倍(15型モニタ上)
高さ測定範囲:最大7mm
高さ測定繰り返し精度:0.012μm
幅測定繰り返し精度:0.02μm

設置場所 電子技術総合センター 4F 第2メカトロ実験室(E401)
問合せ先 システム技術部 電子技術研究室
立松昌(052-654-9935)
その他 この設備は、平成25年度補正予算事業「地域オープンイノベーション促進事業」(東海地域)によって導入されました。
写真
光学特性評価システム - 形状測定装置

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