名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成10年 中小企業総合事業団ものづくり試作開発支援センター整備事業のアイコン

装置名 X線マイクロアナライザ
設備の概要
(目的、用途)
電子部品、電子材料の故障解析のため、表面元素分析を行い、変色、付着した異物の同定などを行うことができます。
メーカー オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
型式 ISIS300
設備仕様

・検出可能元素範囲5 B〜92U
・定量分析、マッピング像の観察が可能
・イオン銃による試料のエッチングが可能

設置場所 電子技術総合センター 2F 電子素子加工実験室(E209)
問合せ先 システム技術部 電子技術研究室
村瀬真(052-654-9930)
その他 この設備は、平成10年度 中小企業事業団(現 中小企業総合事業団) ものづくり試作開発支援センター整備事業 によって整備されました。(H11.1.29設置)
写真
X線マイクロアナライザ

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