名古屋市工業研究所

  • 文字サイズの変更
  • 文字サイズを標準にします
  • 文字サイズを大きく

HOME > 研究所案内-主要設備・設備検索 > 非接触三次元測定装置

主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成10年 中小企業庁技術開発補助事業または技術指導施設費補助事業のアイコン

装置名 非接触三次元測定装置
設備の概要
(目的、用途)
レーザ光を測定対象物表面に照射し、自動XYステージによりスキャニングさせて、レーザサーボ式オートフォーカス顕微鏡によりオートフォーカスポイントのXYZ座標値をコンピュータ処理します。精密機械、電子部品、素材や医療機器などの微細形状を高精度に三次元測定が行える最新式の精密測定器です。
メーカー 三鷹光器
型式 NH-3
設備仕様

 •測定範囲/分解能:
ステージ部
X軸 150mm/0.1μm
Y軸 150mm/0.1μm
Z軸 60mm/0.01μm
オートフォーカス部
Z軸 8mm/0.01μm
 •保証測定精度:1μm
 •被測定物:
最大高さ 68mm、最大質量 6kg、表面の反射率 1%以上
•レーザ光源:He-Neレーザ(波長 633nm)
•レーザスポット径:
1.5μm(対物レンズ 100×)
3.0μm(対物レンズ 50×)
•測定項目:
三次元測定/表示、断面測定/表示、高さ、溝幅、角度、曲率、平面度の測定、表面粗さ測定など

設置場所 研究棟 1F 精密測定室(R111)
問合せ先 システム技術部 計測技術研究室
奥田崇之(052-654-9883)
その他 この設備は、中小企業庁の平成10年度 技術開発研究事業(共同研究) によって導入されました。(H10.12.11設置)
写真
非接触三次元測定装置

このページの先頭へ