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走査型プローブ顕微鏡
| 導入年度 | 2001年度 |
|---|---|
| 補助事業 | 中小企業庁 |
| 設備の概要（目的、用途） |
【表面形態の観察】 比較的平滑なサンプルの微小な凹凸を観察する装置です。主にめっきやコーティング層、樹脂表面の観察を行います。 |
| メーカー | 日本電子 |
| 型式 | JSPM-4210 |
| 設備仕様 | 分解能：原子分解能 最大試料サイズ ：2インチウェハ XY走査範囲：0-10µm Z範囲：0-3µm |
| 設置場所 | 研究棟2F 電子顕微鏡室(R213) |
| 問合せ先 | 支援総括室 |
| その他 |