保有機器 検索結果
分析機能付超高分解能走査電子顕微鏡
| 導入年度 | 2020年度 |
|---|---|
| 補助事業 | （公財）JKA |
| 設備の概要（目的、用途） |
【高分解能観察、定性分析、半定量分析、結晶方位解析】 本装置は製品の表面形態を高分解能で観察する装置であり、2次電子像、反射電子像が撮影できます。また、微小部の元素分析並びに結晶方位解析が可能です。異物分析、不良原因調査、破損解析、多結晶材料の組織評価などに利用できます。 |
| メーカー | 日本電子 |
| 型式 | JSM-7900F |
| 設備仕様 | 電子銃 ： ZrO/Wショットキー 加速電圧 ： 0.01（電子ビーム減速機構有）～30 kV 最大照射電流 ： 500 nA 倍率 ： ×75～×3,000,000 分解能 ： 加速電圧15 kV ： 0.6 nm、加速電圧1 kV ： 0.7 nm 検出器 ： 上方検出器、下方検出器、反射電子検出器 EDS ： AztecLive Standard UltimMax40（Oxford社） EBSD ： AztecHKL Advanced C-Nano（Oxford社） |
| 設置場所 | 研究棟2F 電子顕微鏡室(R213) |
| 問合せ先 | 材料技術部 表面技術研究室 浅野成宏(052-654-9887) |
| その他 | 公益財団法人JKAの2020年度「公設工業試験研究所等における機械設備拡充補助事業」によって導入されました。(R3.1.27設置) https://www.youtube.com/watch?v=OMI5YLD9qmU |