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光電子分光装置
| 導入年度 | 2014年度 |
|---|---|
| 補助事業 | （公財）JKA |
| 設備の概要（目的、用途） |
【表面処理皮膜およびバルク体の極表面の成分・化学状態分析】 固体試料にX線を照射して、極表面から出される光電子を分析する装置です。表面組成と化学結合状態を分析できる装置です。 |
| メーカー | アルバック・ファイ(株) |
| 型式 | PHI X-tool |
| 設備仕様 | ・X線源：モノクロ集光型Al-Kα ・分解能0.50eV（Ag） ・分解能0.85eV（C) ・最小分析径20µm ・分析径20µm、分解能0.6eV 50,000cps（Ag) ・サンプルホルダーサイズ：75mm角 ・最大試料高さ10mm ・試料室の真空度2.5×10-7Pa |
| 設置場所 | 研究棟4F X線測定室(R413) |
| 問合せ先 | 材料技術部 金属材料研究室 岡東寿明(052-654-9853) |
| その他 | この設備は、公益財団法人JKAの平成26年度公設工業試験研究所の設備拡充補助事業によって導入されました。(H27.1.21設置) https://www.youtube.com/watch?v=mbD_TkOwsRo |