保有機器 検索結果
環境制御型走査プローブ顕微鏡
| 導入年度 | 1998年度 |
|---|---|
| 補助事業 | ものづくり試作開発支援センター |
| 設備の概要（目的、用途） |
【表面形状の測定】 板状試料について、ナノスケールの微小な表面形状を測定する装置です。 |
| メーカー | セイコーインスツルメンツ(株) |
| 型式 | SPI3800N |
| 設備仕様 | ユニット部：SPA-400 主な測定モード：DFM スキャナ走査範囲： 面内：1μm×1μm、垂直：0.4μm 面内：20μm×20μm、垂直：1.5μm 面内：100μm×100μm、垂直：15μm |
| 設置場所 | 電子技術総合センター2F 電子素子加工実験室(E209) |
| 問合せ先 | システム技術部 情報・電子技術研究室 村瀬真(052-654-9930) |
| その他 | この設備は、平成10年度 中小企業事業団(現 中小企業総合事業団) ものづくり試作開発支援センター整備事業 によって整備されました。(H1.1.29設置) |