導入年度 | 2014年度 |
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補助事業 | |
設備の概要(目的、用途) |
【非接触形状測定】 本装置は、ガラス基板、金属、フィルムなどの形状を測定する装置です。非接触のレーザーによる形状測定ができます。数μm~数mm程度の凹凸を持つ試料の表面形状測定に適しています。 測定した形状の3D表示、短波長レーザによる高解像度観察、表面粗さの測定などが可能です。 |
メーカー | (株)キーエンス |
型式 | VK-X210/200 |
設備仕様 | レーザ光源波長:408nm 総合倍率:200~24,000倍(15型モニタ上) 高さ測定範囲:最大7mm 高さ測定繰り返し精度:0.012μm 幅測定繰り返し精度:0.02μm |
設置場所 | 電子技術総合センター4F 光学特性評価室(E401) |
問合せ先 | システム技術部 情報・電子技術研究室 村瀬真(052-654-9930) システム技術部 生産システム研究室 立松昌(052-654-9935) |
その他 | この設備は、平成25年度補正予算事業「地域オープンイノベーション促進事業」(東海地域)によって導入されました。 |