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開放機器
分析機能付卓上型電子顕微鏡
| 導入年度 | 2011年度 |
|---|---|
| 補助事業 | |
| 設備の概要（目的、用途） |
【材料表面の形態観察 元素分析】 材料や製品表面の形態観察および元素分析ができます。低真空のため、絶縁物試料を無蒸着で観察できます。 |
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
| 型式 | Miniscope TM-1000 |
| 設備仕様 | 加速電圧: 15 kV 倍率: ×20 ～×10,000 分解能: 約30 nm EDXによる元素分析: Na～Uまで検出可能 |
| 設置場所 | 電子技術総合センター4F 先端技術開放試験室(E408) |
| 利用手数料 | 2,500円 1台半日 |
| 問合せ先 | 材料技術部 環境・有機材料技術研究室 林朋子(052-654-9881) 材料技術部 表面技術研究室 松村大植(052-654-9857) |
| その他 |