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三次元表面形状測定機
| 導入年度 | 2018年度 |
|---|---|
| 補助事業 | |
| 設備の概要（目的、用途） | 対象物の表面の三次元形状を高速に測定する装置です。面全体の凹凸を詳細にスキャンすることができ、高さ、幅、角度やＲといったプロファイル測定や平面計測、線粗さ測定、面粗さ測定を行うことができます。 |
| メーカー | キーエンス |
| 型式 | VR-3200 |
| 設備仕様 | ・表示分解能 0.1μｍ ・最大測定可能高さ 10㎜ ・ＸＹステージ可動範囲 184×88㎜ ・測定精度 高さ±3μｍ 幅±2μｍ |
| 設置場所 | 研究棟1F 精密実験室(R110) |
| 問合せ先 | システム技術部 生産システム研究室 松下聖一(052-654-9851) 材料技術部 環境・有機材料研究室 上野雄真(052-654-9868) |
| その他 |