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非接触三次元測定装置
| 導入年度 | 1998年度 |
|---|---|
| 補助事業 | 中小企業庁 |
| 設備の概要（目的、用途） |
【断面形状・三次元形状測定】 レーザ光を測定対象物表面に照射し、自動ＸＹステージによりスキャニングさせて、レーザサーボ式オートフォーカス顕微鏡によりオートフォーカスポイントのＸＹＺ座標値をコンピュータ処理します。精密機械、電子部品 |
| メーカー | 三鷹光器 |
| 型式 | NH-3 |
| 設備仕様 | •測定範囲／分解能： ステージ部 X軸 150mm/0.1μm Y軸 150mm/0.1μm Z軸 60mm/0.01μm オートフォーカス部 Z軸 8mm/0.01μm •保証測定精度：1μm •被測定物： 最大高さ 68mm、最大質量 6kg、表面の反射率 1%以上 •レーザ光源：He-Neレーザ（波長 633nm） •レーザスポット径： 1.5μm（対物レンズ 100×） 3.0μm（対物レンズ 50×） •測定項目 三次元測定/表示、断面測定/表示、高さ、溝幅、角度、曲率、平面度の測定、表面粗さ測定など |
| 設置場所 | 研究棟1F 精密測定室(R111) |
| 問合せ先 | 材料技術部 信頼性評価研究室 奥田崇之(052-654-9883) |
| その他 | この設備は、中小企業庁の平成１０年度 技術開発研究事業(共同研究) によって導入されました。(H10.12.11設置) |