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表面粗さ・輪郭形状測定器
| 導入年度 | 1998年度 |
|---|---|
| 補助事業 | 中小企業庁 |
| 設備の概要（目的、用途） |
【表面粗さ・うねり・二次元形状測定】 加工面の粗さ・うねり・あるいは摩耗など表面特性を測定、評価ができる従来の触針式表面粗さ測定器に形状測定用検出器を取り付けて、寸法・角度・ピッチ・段差・半径の断面形状測定機能を付加した多機能、多用途な複合型精密測定器です。 |
| メーカー | 東京精密 |
| 型式 | サーフコム1800A |
| 設備仕様 | 表面粗さ測定 •測定範囲：Z軸(縦方向) 800μm 差動トランスX軸(横方向) 100mm モアレ縞スケール •駆動部の真直度精度：0.2μm/100mm •解析項目：JIS-1994および1982､ISO､DIN､ANSI規格に準拠｡粗さ･うねりパラメータ､評価曲線､表面特性ｸﾞﾗﾌ､傾斜補正 •記録：縦倍率 50～500,000倍(任意､自動）横倍率 1～20,000倍(任意､自動） 輪郭形状測定 •測定範囲：Z軸(縦方向) 50mm 差動トランスX軸(横方向) 100mm モアレ縞スケール •駆動部の真直度精度:1μm/100mm •追従角度：登り/最大77度、下り/最大87度 •解析項目：点､直線､円､部分円､楕円､最大･最小点､距離､座標差､曲座標､直交/極座標表示など •記録：縦倍率 0.01～10,000倍(任意､自動）横倍率 0.01～10,000倍(任意､自動） |
| 設置場所 | 研究棟1F 精密測定室(R111) |
| 問合せ先 | システム技術部 計測技術研究室 奥田崇之(052-654-9883) |
| その他 | この設備は、中小企業庁の平成10年度 技術開発研究事業(共同研究) によって導入されました。(H10.11.5設置) |