保有機器 検索結果
X線分析機能付高分解能走査電子顕微鏡
| 導入年度 | 2008年度 |
|---|---|
| 補助事業 | （公財）JKA |
| 設備の概要（目的、用途） |
【表面形態の観察および微小部X線分析】 本装置は製品の表面形態を高分解能で観察する装置です。2次電子像、反射電子像が撮影でき、イオンミリング装置で調整すれば結晶組織の観察が可能です。微小部の元素分析が可能です。異物分析、不良原因調査、破損解 |
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
| 型式 | S-4800 |
| 設備仕様 | 観察倍率 ：×20～800,000 加速電圧 ：0.5～30kV 照射電圧 ：0.1～2.0kV（リターディングモード） 二次電子分解能 ：1.0nm(加速電圧15kV、WD4mm)、1.4nm(加速電圧1kV、WD4mm) 検出元素 ：B～U 検出器 ：液体窒素レス半導体検出器 |
| 設置場所 | 研究棟2F 電子顕微鏡室(R214) |
| 問合せ先 | 材料技術部 表面技術研究室 川瀬聡(052-654-9925) |
| その他 | この設備は、財団法人JKAの平成20年度公設工業試験研究所の設備拡充補助事業によって導入されました。(H20.10.06設置) |