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コーティング装置
| 導入年度 | 2001年度 |
|---|---|
| 補助事業 | 日本自転車振興会 |
| 設備の概要（目的、用途） |
【カーボン及び金属コーティング】 電子顕微鏡観察用試料表面にカーボン及び金等により導電性を付与します。 |
| メーカー | 日立製作所 |
| 型式 | E-1030 |
| 設備仕様 | •カーボンコート可能 •排気方式：ロータリポンプ •金属コート方式：マグネトロンスパッタリング •膜厚制御可能 •コーティング操作：自動 •試料冷却：室温より -30℃ |
| 設置場所 | 研究棟2F 電子顕微鏡室(R214) |
| 問合せ先 | 材料技術部 表面技術研究室 川瀬聡(052-654-9925) |
| その他 | この設備は、日本自転車振興会の平成１３年度公設工業試験研究所の設備拡充補助事業によって導入されました。(H13.11.9設置) |