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環境制御型電子顕微鏡
| 導入年度 | 2007年度 |
|---|---|
| 補助事業 | （公財）JKA |
| 設備の概要（目的、用途） |
【材料表面観察 】 金属などの導電性材料からプラスチックなどの非導電性材料、水分・油分などの揮発成分を含む材料など幅広い材料の観察に使用できます。 |
| メーカー | FEI社 |
| 型式 | Quanta 200 |
| 設備仕様 | 試料室真空度10～2600Pa、２次電子分解能3nm（ESEMモード） |
| 設置場所 | 研究棟3F 光学測定室(R313) |
| 問合せ先 | 材料技術部 表面技術研究室 中野万敬(052-654-9893) |
| その他 | この設備は、(財)JKA（旧日本自転車振興会）の平成19年度公設工業試験研究所の設備拡充補助事業によって導入されました。(H20.3.14設置) |