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蛍光X線分析装置（エネルギー分散型）
| 導入年度 | 2026年度 |
|---|---|
| 補助事業 | |
| 設備の概要（目的、用途） |
【非破壊での元素分析、非破壊でのめっき等の膜厚分析】 エネルギー分散型の蛍光X線分析装置は、X線管球から発生したX線を試料に照射し、試料から放出される蛍光X線を検出・分析する装置です。蛍光X線のエネルギーから含有元素を、強度から各元素の含有量を求めることができます。また、X線の透過性を利用して膜厚測定にも活用できます。これらの分析を非破壊で行え、試料サイズも比較的大きいものまで扱えるため、材料の組成分析における初期評価の手法として幅広く利用されています。 |
| メーカー | (株)日立ハイテクアナリシス |
| 型式 | EA1400 |
| 設備仕様 | 測定可能元素：Al～U（大気圧時）、Na～U（真空時） 分析径：φ1mm、3mm、5mm 試料室サイズ：最大304(W)×304(D)×110(H)mm X線管球：Rhターゲット 電圧：最大50kV 電流：最大1mA 一次フィルタ：4種＋なし 検出系：Si半導体検出器 検出器冷却方式：電子式（液体窒素レス） |
| 設置場所 | 研究棟5F (R505) |
| 問合せ先 | 材料技術部 表面技術研究室 柴田信行(052-654-9882) 材料技術部 表面技術研究室 田辺智亮(052-654-9943) |
| その他 | 本装置は10月から稼働予定です。 写真は前機種のものです。 |