導入年度 | 1998年度 |
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補助事業 | ものづくり試作開発支援センター |
設備の概要(目的、用途) |
【表面形状の測定】 板状試料について、ナノスケールの微小な表面形状を測定する装置です。 |
メーカー | セイコーインスツルメンツ(株) |
型式 | SPI3800N |
設備仕様 | ユニット部:SPA-400 主な測定モード:DFM スキャナ走査範囲: 面内:1μm×1μm、垂直:0.4μm 面内:20μm×20μm、垂直:1.5μm 面内:100μm×100μm、垂直:15μm |
設置場所 | 電子技術総合センター2F 電子素子加工実験室(E209) |
問合せ先 | システム技術部 情報・電子技術研究室 村瀬真(052-654-9930) |
その他 | この設備は、平成10年度 中小企業事業団(現 中小企業総合事業団) ものづくり試作開発支援センター整備事業 によって整備されました。(H1.1.29設置) |