保有機器 検索結果
光学特性評価システム – 形状測定装置
| 導入年度 | 2014年度 |
|---|---|
| 補助事業 | |
| 設備の概要（目的、用途） |
【非接触形状測定】 本装置は、ガラス基板、金属、フィルムなどの形状を測定する装置です。非接触のレーザーによる形状測定ができます。数μm～数mm程度の凹凸を持つ試料の表面形状測定に適しています。 測定した形状の3D表示、短波長レーザによる高解像度観察、表面粗さの測定などが可能です。 |
| メーカー | (株)キーエンス |
| 型式 | VK-X210/200 |
| 設備仕様 | レーザ光源波長：408nm 総合倍率：200～24,000倍（15型モニタ上） 高さ測定範囲：最大7mm 高さ測定繰り返し精度：0.012μm 幅測定繰り返し精度：0.02μm |
| 設置場所 | 電子技術総合センター4F 光学特性評価室(E401) |
| 問合せ先 | システム技術部 情報・電子技術研究室 村瀬真(052-654-9930) システム技術部 生産システム研究室 立松昌(052-654-9935) |
| その他 | この設備は、平成25年度補正予算事業「地域オープンイノベーション促進事業」（東海地域）によって導入されました。 |