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開放機器
レーザー顕微鏡
| 導入年度 | 2018年度 |
|---|---|
| 補助事業 | |
| 設備の概要（目的、用途） |
【透視撮影および三次元断層データの取得】 測定対象の表面の微細な形状を測定します。対象物にレーザー光を当てXY方向にスキャンさせて、Z方向の焦点合わせることで三次元的な測定を行います。 |
| メーカー | (株)キーエンス |
| 型式 | VK-9710 |
| 設備仕様 | 15型モニタ上倍率：200~3000 表示分解能（高さ、幅）：0.001μｍ |
| 設置場所 | 電子技術総合センター4F 先端技術開放試験室(E408) |
| 利用手数料 | 10,700円 1台半日 |
| 問合せ先 | システム技術部 計測技術研究室 安井望(052-654-9906) |
| その他 |