名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成20年 (財)JKA設備拡充補助対象事業のアイコン

装置名 イオンミリング装置(断面試料作製装置)
設備の概要
(目的、用途)
電子顕微鏡による断面観察をするために、機械研磨や切削では取り除けない細かな傷や歪をアルゴンイオンビームにより除去し、平坦な試料断面作製に用います。
メーカー 日立ハイテクノロジー
型式 E-3500
設備仕様

・Arガス使用 加速電圧0〜6kV、
・最大試料サイズ20(W)×12(D)×5(H)mm
・ミリング速度100μm/hr (Si)

設置場所 研究棟 2F 電子顕微鏡室(R214)
問合せ先 材料技術部 金属・表面技術研究室
三宅猛司(052-654-9915)
その他 この設備は、財団法人JKAの平成20年度公設工業試験研究所の設備拡充補助事業によって導入されました。(H20.10.06設置)
写真
イオンミリング装置(断面試料作製装置)

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