名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成13年 中小企業庁技術開発補助事業または技術指導施設費補助事業のアイコン

装置名 走査型プローブ顕微鏡
設備の概要
(目的、用途)
比較的平滑なサンプルの微小な凹凸を観察する装置です。主にめっきやコーティング層、樹脂表面の観察を行います。
メーカー 日本電子
型式 JSPM-4210
設備仕様

分解能:原子分解能
最大試料サイズ :2インチウェハ
XY走査範囲:0-10µm
Z範囲:0-3µm

設置場所 研究棟 2F 電子顕微鏡室(R213)
問合せ先 材料技術部 金属・表面技術研究室
加藤雅章(052-654-9914)
その他
写真
走査型プローブ顕微鏡

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