名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成13年 日本自転車振興会設備拡充補助対象事業のアイコン

装置名 コーティング装置
設備の概要
(目的、用途)
電子顕微鏡観察用試料表面にカーボン及び金等により導電性を付与します。
メーカー 日立製作所
型式 E-1030
設備仕様

•カーボンコート可能
•排気方式:ロータリポンプ
•金属コート方式:マグネトロンスパッタリング
•膜厚制御可能
•コーティング操作:自動
•試料冷却:室温より -30℃

設置場所 研究棟 2F 電子顕微鏡室(R214)
問合せ先 材料技術部 環境技術研究室
川瀬 聡、小野 さとみ(052-654-9925,9855)
その他 この設備は、日本自転車振興会の平成13年度公設工業試験研究所の設備拡充補助事業によって導入されました。(H13.11.9設置)
写真
コーティング装置

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