名古屋市工業研究所

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主要設備・設備検索

設置設備・装置等の仕様

導入年度:平成10年 中小企業総合事業団ものづくり試作開発支援センター整備事業のアイコン

装置名 環境制御型走査プローブ顕微鏡
設備の概要
(目的、用途)
電子機器、金型の原子レベルでの表面形状観察、及び、測定対象物を加熱、ガス雰囲気、真空で測定できます。
メーカー セイコーインスツルメンツ(株)
型式 SPI3800N
設備仕様

・多機能型ユニット部
・分解能 XY:0.2nm Z:0.01nm
・観察モード AFM、DFM、摩擦力顕微鏡
・環境制御型ユニット部
・分解能 XY:0.3nm Z:0.01nm
・観察モード AFM、DFM、AFM電流同時測定
・試料加熱 800℃(加熱処理)、300℃(測定)

設置場所 電子技術総合センター 2F 電子素子加工実験室(E209)
問合せ先 システム技術部 電子技術研究室
村瀬真(052-654-9930)
その他 この設備は、平成10年度 中小企業事業団(現 中小企業総合事業団) ものづくり試作開発支援センター整備事業 によって整備されました。(H1.1.29設置)
写真
環境制御型走査プローブ顕微鏡

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